接合体及功率模块用基板
Abstract:
本发明的接合体为由陶瓷构成的陶瓷部件与由Cu或Cu合金构成的Cu部件通过Cu‑P‑Sn系钎料及Ti材接合而成的接合体,其中,在所述陶瓷部件与所述Cu部件的接合界面形成有:位于所述陶瓷部件侧且Sn固溶于Cu中的Cu‑Sn层;及位于所述Cu部件与所述Cu‑Sn层之间的Ti层,在所述Cu部件与所述Ti层之间形成有由Cu和Ti构成的第一金属间化合物层,在所述Cu‑Sn层与所述Ti层之间形成有含P的第二金属间化合物层。
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