Invention Publication
- Patent Title: 辐射加热器布置
- Patent Title (English): Radiation heater arrangement
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Application No.: CN201480043347.2Application Date: 2014-07-29
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Publication No.: CN105706225APublication Date: 2016-06-22
- Inventor: J·维查特 , R·巴兹伦
- Applicant: 伊瓦泰克先进科技股份公司
- Applicant Address: 列支敦士登巴尔策斯
- Assignee: 伊瓦泰克先进科技股份公司
- Current Assignee: 瑞士艾发科技
- Current Assignee Address: 列支敦士登巴尔策斯
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 申屠伟进; 王传道
- Priority: 61/860389 2013.07.31 US
- International Application: PCT/CH2014/000115 2014.07.29
- International Announcement: WO2015/013832 EN 2015.02.05
- Date entered country: 2016-01-29
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67

Abstract:
用于真空外壳中的电气辐射加热器布置,包括:至少两组线性加热源,布置在对应数目的同心加热区域中,加热源被直接布置在真空外壳的真空侧上并且电气连接到布置在真空侧上的电流轨;电流轨中的每个被连接到从真空到环境的一个电气引线。优选地,加热源以接近圆形的多边形来布置、基本为放射状来布置,或两者的组合来布置。
Public/Granted literature
- CN105706225B 辐射加热器布置 Public/Granted day:2019-08-13
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IPC分类: