Invention Publication
- Patent Title: 横向扩散场效应晶体管及其制造方法
- Patent Title (English): Transverse diffusion field effect transistor and manufacturing method therefor
-
Application No.: CN201610148112.0Application Date: 2016-03-16
-
Publication No.: CN105789311APublication Date: 2016-07-20
- Inventor: 钱文生
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 郭四华
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种横向扩散场效应晶体管,包括:在第一导电类型掺杂的漂移区中形成有第二导电类型掺杂的埋层,埋层分成具有不同浓度和不同深度的多个埋层段;各相邻两个埋层段在纵向上相互错位,使沟道区和漂移区之间的JFET效应降低,用以提高器件导通时漂移区的电流导通区域;最靠近沟道区的埋层段的掺杂浓度大于其它埋层段的掺杂浓度,且最靠近沟道区的埋层段的掺杂浓度使沟道区侧面附件漂移区能在漏端电压的初始阶段被充分耗尽。本发明还公开了一种横向扩散场效应晶体管的制造方法。本发明能防止低电压击穿、提高击穿电压,能增加漏电流的导通区域、降低器件的导通电阻。
Public/Granted literature
- CN105789311B 横向扩散场效应晶体管及其制造方法 Public/Granted day:2019-10-11
Information query
IPC分类: