利用激光直接反馈的直线误差补偿方法
Abstract:
本发明公开了一种利用激光直接反馈的直线误差补偿方法,具有如下步骤:—读取激光干涉仪检测的当前机床的直线运动位置I;—记录同一时刻下,机床运动控制系统位移传感器输出的直线运动位置II;—计算并记录同一时刻下,激光干涉仪的运动位置和编码器的检测得到的直线运动位置I和直线运动位置II的差值;—重复上述步骤,将得到的每一时刻的差值求和,作为系统整体的误差补偿;进而对运动控制系统进行误差补偿。相对于统线性误差补偿方式将很大程度的上提高线性位置补偿效率,同时线性补偿精度将很大的提高。而且采用的技术成熟,结构相对简单,十分适于在精密数控机床领域内大范围的推广和使用。
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