Invention Publication
- Patent Title: 涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液
- Patent Title (English): Polymer-containing coating liquid applied to resist pattern
-
Application No.: CN201580010173.4Application Date: 2015-02-03
-
Publication No.: CN106030418APublication Date: 2016-10-12
- Inventor: 志垣修平 , 境田康志 , 坂本力丸
- Applicant: 日产化学工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 孙丽梅; 段承恩
- Priority: 2014-035855 2014.02.26 JP
- International Application: PCT/JP2015/052970 2015.02.03
- International Announcement: WO2015/129405 JA 2015.09.03
- Date entered country: 2016-08-24
- Main IPC: G03F7/40
- IPC: G03F7/40 ; G03F7/32 ; H01L21/027 ; C08G77/14

Abstract:
本发明的课题是提供代替以往的冲洗液使用的、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液,含有聚合物和溶剂,所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元,所述溶剂含有水和/或醇类,(式(1)中,R1表示碳原子数为1~12的有机基团,X表示下述式(2)所示的有机基团。式(2)中,R2和R3分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1~3的亚烷基,该R2与前述式(1)中的氧原子结合,R4表示碳原子数为1~4的烷氧基、烯丙氧基或羟基,p表示0、1或2。))。
Public/Granted literature
- CN106030418B 涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液 Public/Granted day:2019-10-11
Information query
IPC分类: