涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液
Abstract:
本发明的课题是提供代替以往的冲洗液使用的、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液,含有聚合物和溶剂,所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元,所述溶剂含有水和/或醇类,(式(1)中,R1表示碳原子数为1~12的有机基团,X表示下述式(2)所示的有机基团。式(2)中,R2和R3分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1~3的亚烷基,该R2与前述式(1)中的氧原子结合,R4表示碳原子数为1~4的烷氧基、烯丙氧基或羟基,p表示0、1或2。))。
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