Invention Publication
- Patent Title: 具有反向续流能力的IGBT及其制造方法
- Patent Title (English): IGBT with reverse freewheeling capacity and manufacturing method thereof
-
Application No.: CN201610566543.9Application Date: 2016-07-19
-
Publication No.: CN106057876APublication Date: 2016-10-26
- Inventor: 柯行飞
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 郭四华
- Main IPC: H01L29/739
- IPC: H01L29/739 ; H01L21/331 ; H01L29/06 ; H01L29/417

Abstract:
本发明公开了一种具有反向续流能力的IGBT,包括:正面MOS结构,N型漂移区,背面集电极结构;背面集电极结构包括N+缓冲层,P+注入层和背面金属层。P+注入层的图形结构通过在半导体衬底正面形成的凹槽进行定义,N+缓冲层的结深大于所述凹槽的深度,P+注入层小于所述凹槽的深度并位于凹槽之间的半导体衬底的N+缓冲层的背面;背面金属层完全填充凹槽且延伸到凹槽外的整个半导体衬底背面。本发明还公开了一种具有反向续流能力的IGBT的制造方法。本发明不需要采用背面光刻和去胶工艺就能集成具有反向续流能力的二极管结构,工艺简单,成品率高,能提高可制造性。
Public/Granted literature
- CN106057876B 具有反向续流能力的IGBT及其制造方法 Public/Granted day:2019-10-11
Information query
IPC分类: