影像感测器及其制作方法
Abstract:
本发明公开一种影像感测器及其制作方法。该影像感测器的制作方法为,提供基底,基底包括像素阵列区。在像素阵列区的基底中形成多个开口。在各开口周围的基底中形成导光区,其中导光区与开口之间配置有基底,导光区于基底中的深度大于其所环绕的开口于基底中的深度。在开口中形成隔离结构,以于像素阵列区中定义出分别位于两相邻隔离结构之间的多个像素区。在各像素区的基底中形成光感测区。在各像素区的基底上形成导线层。
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