Invention Grant
- Patent Title: LDMOS器件及其制造方法
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Application No.: CN201610674970.9Application Date: 2016-08-16
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Publication No.: CN106298935BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 石晶
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 王江富
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L29/10 ; H01L29/06

Abstract:
本发明公开了一种LDMOS器件,其包括P型外延层、N阱、P阱、第一N型漂移区、第一P型层、第二N型漂移区、第二P型层、栅氧化层、栅极多晶硅;P阱、第二N型漂移区、第一N型漂移区、N阱从左到右依次邻接形成在P型外延层的上部;第二N型漂移区较第一N型漂移区深度浅;第二P型层邻接于第二N型漂移区下面;第一P型层邻接于第一N型漂移区下面;第二P型层较第一P型层深度浅;第二P型层较第一P型层掺杂浓度高。本发明还公开了该种LDMOS器件的制造方法。本发明能使LDMOS器件不仅有较低的导通电阻,而且能同时满足关态击穿电压和开态击穿电压。
Public/Granted literature
- CN106298935A LDMOS器件及其制造方法 Public/Granted day:2017-01-04
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IPC分类: