Invention Grant

喷头设计
Abstract:
本文所述的实施方式涉及具有反射板的喷头,反射板带有用于径向分配气体的气体注入插件。在一个实施方式中,喷头组件包括反射板与气体注入插件。反射板包括至少一个气体注入口。气体注入插件设置于反射板中,且包括多个孔。气体注入插件还包括设置于气体注入插件中的挡板,其中挡板还包括多个孔。第一气室形成于挡板的第一部分与反射板之间,及第二气室形成于挡板的第二部分与反射板之间。气体注入插件的多个孔与挡板的多个孔不轴向对齐。
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