Invention Grant
- Patent Title: 喷头设计
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Application No.: CN201580021593.2Application Date: 2015-04-20
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Publication No.: CN106463344BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 卡尔蒂克·萨哈 , 柴塔尼亚·A·普拉萨德 , 凯文·J·鲍蒂斯塔 , 杰弗里·托宾 , 乌梅什·M·科尔卡 , 劳拉·哈夫雷查克
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国; 赵静
- Priority: 61/994,584 2014.05.16 US
- International Application: PCT/US2015/026687 2015.04.20
- International Announcement: WO2015/175163 EN 2015.11.19
- Date entered country: 2016-10-31
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02

Abstract:
本文所述的实施方式涉及具有反射板的喷头,反射板带有用于径向分配气体的气体注入插件。在一个实施方式中,喷头组件包括反射板与气体注入插件。反射板包括至少一个气体注入口。气体注入插件设置于反射板中,且包括多个孔。气体注入插件还包括设置于气体注入插件中的挡板,其中挡板还包括多个孔。第一气室形成于挡板的第一部分与反射板之间,及第二气室形成于挡板的第二部分与反射板之间。气体注入插件的多个孔与挡板的多个孔不轴向对齐。
Public/Granted literature
- CN106463344A 喷头设计 Public/Granted day:2017-02-22
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