静电电容检测式压力开关及压力传感器
Abstract:
本发明的目的在于提供一种静电电容检测式的压力开关及压力传感器,对于用作一方的电极的膜片与用于检测来自膜片的信号的信号线的连接,不会对膜片的动作特性产生影响,且能够确保稳定的导通。本发明的静电电容检测式压力开关(900)的特征在于,具备:根据从管路(11)供给的工作介质的压力进行位移的金属制膜片在膜片(800)的与管路(11)相对的大气压侧的固定电极(123);以及确保固定电极(123)与膜片(800)的绝缘的绝缘被膜(124),形成有作为在膜片(800)的外周的一部分向外侧延伸的至少一个突起部的、用于连接可动电极(921)的电极接触部(801)。(800);与膜片(800)电连接的可动电极(921);设
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