升降装置及半导体加工设备
Abstract:
本发明提供的升降装置及半导体加工设备,其包括提升轴、波纹管组件和直线轴承,其中,提升轴是可升降的,用以带动被提升件作升降运动;波纹管组件用于保证反应腔室的密封性;直线轴承与提升轴相配合,用以单独约束提升轴在其径向上的自由度;并且,直线轴承和波纹管组件相互嵌套,以形成一体式结构。本发明提供的升降装置,其可以在保证装配精度的前提下,简化设备结构和安装过程、同时节省安装空间,从而既可以提高工艺均匀性,又可以降低加工成本。
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