Invention Publication
- Patent Title: 机械手及传输腔室
- Patent Title (English): Manipulator and transmission chamber
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Application No.: CN201510808308.3Application Date: 2015-11-19
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Publication No.: CN106783703APublication Date: 2017-05-31
- Inventor: 张新云
- Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Applicant Address: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- Assignee: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Current Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 彭瑞欣; 张天舒
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677

Abstract:
本发明提供一种机械手及传输腔室,包括机械手指和直线传动机构,机械手指用于承载被加工工件;直线传动机构用于驱动机械手指作直线往复运动,直线传动机构包括一级直线模组和二级直线模组,其中,一级直线模组用于驱动二级直线模组作直线往复运动,且二级直线模组在位于一级直线模组的行程始端时与之相互重叠;二级直线模组用于驱动机械手指作直线往复运动,且机械手指在位于二级直线模组的行程始端时与之相互重叠,并且机械手指的直线往复运动与二级直线模组的直线往复运动在同一直线上。本发明提供的机械手,其在满足机械手指完成放片操作所需的移动距离的前提下,体积较小,从而可以减小传输腔室的体积,进而可以降低设备的生产成本。
Public/Granted literature
- CN106783703B 机械手及传输腔室 Public/Granted day:2019-10-11
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IPC分类: