形状测量装置以及形状测量方法
Abstract:
提供形状测量装置等,能够在利用光以非接触的方式测量呈球面状的被测量面的形状时,减小与测长距离对应的误差而进行高精度的形状测量。形状测量装置(1)具有:保持件(12),其保持测量对象物(20);传感器(7),其对被测量面(21)照射光并以非接触的方式测量与该被测量面(21)之间的距离;编码器(5),其使传感器(7)绕中心轴(R1)旋转;滑轨(4)和杆(6),它们是使传感器(7)在与中心轴(R1)垂直的轴(R2)上移动的传感器移动机构,且能够使传感器(7)跨越与中心轴(R1)的交点的两侧而移动;XYZ载物台,其使保持件(12)沿着Z轴移动并在XY面内移动;以及控制装置(14),其根据从传感器(7)输出的测量值来计算被测量面(21)的球心的位置,并进行使该球心的位置与传感器(7)的旋转中心(C)一致的控制。
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