Invention Grant
- Patent Title: 孔链电阻
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Application No.: CN201710068640.XApplication Date: 2017-02-08
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Publication No.: CN106803501BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 朱冬慧 , 苗彬彬 , 苏庆
- Applicant: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 戴广志
- Main IPC: H01L23/544
- IPC: H01L23/544
Abstract:
本发明公开了一种孔链电阻，在所述孔链电阻的外圈增加深槽环，该深槽环与孔链电阻形成闭合环，使测试结构与外界P型外延完全隔离。本发明能够有效实现孔链的横向隔离。
Public/Granted literature
- CN106803501A 孔链电阻 Public/Granted day:2017-06-06
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IPC分类:
