Invention Grant
- Patent Title: 高击穿电压氧化镓肖特基二极管及其制作方法
-
Application No.: CN201710057175.XApplication Date: 2017-01-23
-
Publication No.: CN106876484BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 冯倩 , 李翔 , 韩根全 , 黄璐 , 方立伟 , 邢翔宇 , 张进成 , 郝跃
- Applicant: 西安电子科技大学
- Applicant Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Agency: 陕西电子工业专利中心
- Agent 王品华; 朱红星
- Main IPC: H01L29/872
- IPC: H01L29/872 ; H01L21/329

Abstract:
本发明公开了一种高击穿电压氧化镓肖特基二极管结构,自下而上包括高掺杂n型Ga2O3衬底(1)和低掺杂n型Ga2O3外延层(2)和阳极电极(4),衬底的下表面沉积有阴极电极(5),阳极电极与外延层(2)形成肖特基接触,阴极电极与衬底(1)形成欧姆接触,外延层(2)的上表面沉积有厚度为300~500nm的有机铁电介质层(3);有机铁电介质层上刻蚀有圆形孔,阳极电极沉积在有机铁电介质层的孔内,孔的边缘沉积有场板(6),该场板位于有机铁电介质层之上,并与阳极电极连接。本发明提高了反向击穿电压,且保持其正向特性不变,可用于高速集成电路和微波电路。
Public/Granted literature
- CN106876484A 高击穿电压氧化镓肖特基二极管及其制作方法 Public/Granted day:2017-06-20
Information query
IPC分类: