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多轴压电微电机
Abstract:
本发明公开了一种多轴压电微电机,包括定子、转子和与输出轴,所述定子包括由压电材料制作的部分,用于驱动多轴压电微电机的激励信号在定子上激励出纵向振动和弯曲振动的复合振动以使定子驱动转子发生转动;转子的个数不小于两个,输出轴的个数不小于两个;至少两个输出轴与至少两个转子分别地相连以同时地输出所述至少两个转子的转动力矩。本发明的多轴压电微电机具有结构紧凑、输出力矩大、断电自锁、成本低、精度高、制作简单等优点,利于微型化、产业化和安装集成,其在生物、医疗、微机械、自动控制、光学镜头等领域有广泛应用前景。
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