Invention Publication
- Patent Title: TFT基板的制作方法及TFT基板
- Patent Title (English): TFT (Thin Film Transistor) substrate manufacturing method and TFT substrate
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Application No.: CN201710218699.2Application Date: 2017-04-05
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Publication No.: CN107039351APublication Date: 2017-08-11
- Inventor: 张海杰 , 张占东 , 杨玲
- Applicant: 武汉华星光电技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- Assignee: 武汉华星光电技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华星光电技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- Agency: 深圳市德力知识产权代理事务所
- Agent 林才桂
- Main IPC: H01L21/84
- IPC: H01L21/84 ; H01L27/12

Abstract:
本发明提供一种TFT基板的制作方法及TFT基板。本发明的TFT基板的制作方法,先蚀刻栅极绝缘层形成两第一过孔,并在两第一过孔内形成与两跨接金属块,再蚀刻层间介电层形成分别与两第一过孔连通的两第二过孔,源极和漏极分别通过两第二过孔与两跨接金属块接触,通过将传统的一次蚀刻工艺制作出栅极绝缘层与层间介电层的过孔结构改进为两次蚀刻工艺,能够提升有源层的均一性,降低制程难度,避免因蚀刻厚度较厚而造成的蚀刻停止的问题,提升产品品质。
Public/Granted literature
- CN107039351B TFT基板的制作方法及TFT基板 Public/Granted day:2019-10-11
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IPC分类: