Invention Publication
- Patent Title: 传感系统和器件
- Patent Title (English): Sensor system and device
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Application No.: CN201580069924.XApplication Date: 2015-12-02
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Publication No.: CN107110802APublication Date: 2017-08-29
- Inventor: 小埜和夫 , 宇佐川利幸
- Applicant: 日立汽车系统株式会社
- Applicant Address: 日本茨城县
- Assignee: 日立汽车系统株式会社
- Current Assignee: 日立安斯泰莫株式会社
- Current Assignee Address: 日本茨城县
- Agency: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- Agent 龙淳; 徐飞跃
- Priority: 2015-003464 20150109 JP
- International Application: PCT/JP2015/083889 2015.12.02
- International Announcement: WO2016/111098 JA 2016.07.14
- Date entered country: 2017-06-21
- Main IPC: G01N27/00
- IPC: G01N27/00 ; G01K7/01 ; H01L21/336 ; H01L21/761 ; H01L21/822 ; H01L21/8234 ; H01L27/04 ; H01L27/06 ; H01L27/08 ; H01L27/088 ; H01L29/78
Abstract:
本发明目的在于使FET型氢传感器的传感信号低噪声化。为了解决上述问题，本发明的传感系统的一个方面中，在衬底上由FET构成参照器件和传感器件，并且将两者的阱电位电隔离。
Public/Granted literature
- CN107110802B 传感系统和器件 Public/Granted day:2019-10-11
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