传感系统和器件
Abstract:
本发明目的在于使FET型氢传感器的传感信号低噪声化。为了解决上述问题,本发明的传感系统的一个方面中,在衬底上由FET构成参照器件和传感器件,并且将两者的阱电位电隔离。
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