• Patent Title: 在具有垂直射束角装置的离子注入系统中测量垂直射束轮廓的方法
  • Patent Title (English): Method of measuring vertical beam profile in an ion implantation system having a vertical beam angle device
  • Application No.: CN201580070453.4
    Application Date: 2015-12-28
  • Publication No.: CN107112185A
    Publication Date: 2017-08-29
  • Inventor: 舒·佐藤
  • Applicant: 艾克塞利斯科技公司
  • Applicant Address: 美国马萨诸塞州比佛利市
  • Assignee: 艾克塞利斯科技公司
  • Current Assignee: 艾克塞利斯科技公司
  • Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州比佛利市
  • Agency: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
  • Agent 刘新宇; 寿宁
  • Priority: 62/096,928 20141226 US
  • International Application: PCT/US2015/067720 2015.12.28
  • International Announcement: WO2016/106422 EN 2016.06.30
  • Date entered country: 2017-06-22
  • Main IPC: H01J37/304
  • IPC: H01J37/304 H01J37/317
在具有垂直射束角装置的离子注入系统中测量垂直射束轮廓的方法
Abstract:
本发明涉及一种离子注入系统的测量系统,该测量系统可以具有绕轴线(184)旋转的扫描臂(166)以及使工件平移通过离子束(112)的工件支撑件(168)。第一测量构件(162)可以位于扫描臂下游并且提供来自离子束的第一信号。具有遮罩(190)和阻挡板(202)的第二测量构件(164)可以耦合(182)至扫描臂以随着扫描臂旋转提供来自离子束的第二信号,其中,遮罩基于遮罩与离子束之间的角取向而允许离子束中不同数量的离子辐射进入法拉第杯(200);并且阻挡板基于扫描臂旋转来选择性阻挡到法拉第杯的离子束。控制器被配置成至少部分基于来自测量构件的一个或多个信号来确定离子束的尺寸以及离子束与工件之间的相对取向。
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