Invention Publication
- Patent Title: 一种薄膜制作方法及系统
- Patent Title (English): Thin film fabrication method and system
-
Application No.: CN201710313249.1Application Date: 2017-05-05
-
Publication No.: CN107146859APublication Date: 2017-09-08
- Inventor: 廖金龙 , 闫光 , 吴长晏
- Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
- Applicant Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- Agency: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- Agent 周娟
- Main IPC: H01L51/56
- IPC: H01L51/56

Abstract:
本发明公开一种薄膜制作方法及系统,涉及薄膜制作技术领域,为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括:在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层,向油墨层吹气,使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开;去除油墨层中的溶剂,使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。所述薄膜制作系统包括上述技术方案所提的薄膜制作方法。本发明提供的薄膜制作方法用于制作薄膜。
Public/Granted literature
- CN107146859B 一种薄膜制作方法及系统 Public/Granted day:2019-10-11
Information query
IPC分类: