一种改善边缘形貌的成型方法
Abstract:
本发明提供一种改善边缘形貌的成型方法,包括以下步骤:提供一载体,所述载体设有一收容槽,所述收容槽包括底面以及由所述底面边缘向上延伸的侧壁;在所述载体表面形成粘结层,将裸芯通过所述粘结层固定在所述收容槽的底面上;在所述收容槽内填充成型复合物,使所述裸芯被成型复合物包裹;将所述载体放置于成型模具内,使所述载体与成型模具配合合模成型,在所述收容槽内形成包裹所述裸芯的成型晶圆;脱模,并将所述成型晶圆与载体分离。本发明利用特殊的载体结构,使成型晶圆与粘结层接触的边缘不再过于尖锐,从而可避免在后续制程中出现颗粒污染物或裂纹等问题,有利于提高封装产品的良率。
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