Invention Grant
- Patent Title: 电磁波检测器以及气体分析装置
-
Application No.: CN201680007199.8Application Date: 2016-01-04
-
Publication No.: CN107209057BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 藤泽大介 , 小川新平
- Applicant: 三菱电机株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 三菱电机株式会社
- Current Assignee: 三菱电机株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 张丽
- Priority: 2015-022886 2015.02.09 JP
- International Application: PCT/JP2016/050027 2016.01.04
- International Announcement: WO2016/129293 JA 2016.08.18
- Date entered country: 2017-07-26
- Main IPC: G01J1/02
- IPC: G01J1/02 ; G01N21/41 ; H01L35/32

Abstract:
本发明涉及一种电磁波检测器,具备具有通过支撑脚中被空保持于基板上的受光部的第1电磁波传感器、具有通过与第1电磁波传感器的支撑脚相同构造的支撑脚被中空保持于基板上的受光部并且与第1电磁波传感器邻接设置的第2电磁波传感器,该电磁波检测器的特征在于,第1电磁波传感器的受光部具有反射膜,第2电磁波传感器的受光部具有检测预定波长区域或者预定偏振的光的电磁波吸收体,输出第2电磁波传感器的输出与第1电磁波传感器的输出的差分。
Public/Granted literature
- CN107209057A 电磁波检测器以及气体分析装置 Public/Granted day:2017-09-26
Information query