Invention Grant
- Patent Title: 能够电镀大尺寸化经光致抗蚀剂限定的特征的铜电镀浴和电镀方法
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Application No.: CN201710188677.6Application Date: 2017-03-27
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Publication No.: CN107236975BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: M·托尔塞斯 , R·阿兹布鲁克 , M·斯卡利西 , Z·尼亚兹伊别特娃 , J·狄茨维斯泽柯
- Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- Applicant Address: 美国马萨诸塞州
- Assignee: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- Current Assignee: 杜邦电子材料国际有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 陈哲锋; 胡嘉倩
- Priority: 62/314435 2016.03.29 US
- Main IPC: C25D3/38
- IPC: C25D3/38

Abstract:
本发明提供允许在高电流密度下镀覆具有基本上均匀的形态和减少的节结产生的经光致抗蚀剂限定的大型特征的铜电镀浴和方法。所述铜电镀浴包括提供具有良好TIR%和WID%平衡的大型特征的杂环含氮共聚物的混合物。
Public/Granted literature
- CN107236975A 能够电镀大尺寸化经光致抗蚀剂限定的特征的铜电镀浴和电镀方法 Public/Granted day:2017-10-10
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