一种GaN HEMT器件的制作方法
Abstract:
本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种GaN HEMT器件的制作方法,包括以下步骤:S1、在GaN HEMT结构上形成P型GaN栅极区域和P型GaN空穴注入极区域;S2、源漏欧姆接触制备;S3、在GaN HEMT结构上形成有源隔离区;S4、通过光刻显影方式打开空穴注入极区域,淀积金属Ni并剥离;S5、将金属Ni氧化形成NiO空穴注入极;S6、通过光刻显影方式打开栅极区域,在栅极区域制备栅极;S7、通过光刻显影方式打开栅极、源极、漏极及空穴注入极区域,连通漏极与NiO空穴注入极,并分别对栅极、源极、漏极进行加厚。本发明在栅极与漏极之间增加空穴注入极,空穴被注入到AlGaN势垒层表面来补偿被陷阱俘获的电子,从而降低了沟道二维电子气的耗尽,增强器件抗电流崩塌能力。
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