Invention Publication
- Patent Title: 半导体结构、自支撑氮化镓层及其制备方法
- Patent Title (English): Semiconductor structure, self-supporting gallium nitride layer, and preparation method for semiconductor structure
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Application No.: CN201710495704.4Application Date: 2017-06-26
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Publication No.: CN107275188APublication Date: 2017-10-20
- Inventor: 王颖慧 , 罗晓菊
- Applicant: 镓特半导体科技(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号23幢N1128室
- Assignee: 镓特半导体科技(上海)有限公司
- Current Assignee: 镓特半导体科技(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号23幢N1128室
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 余明伟
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02 ; H01L21/683

Abstract:
本发明提供一种半导体结构、自支撑氮化镓层及其制备方法,1)提供衬底;2)于所述衬底的上表面形成多量子阱结构分解层,所述多量子阱结构分解层中至少包括镓元素;3)于所述多量子阱结构分解层的上表面形成图形化掩膜层;4)将步骤3)得到的结构进行处理,使所述多量子阱结构分解层分解重构以得到分解重构叠层。本发明的半导体结构的制备方法制备的半导体结构在用于氮化镓生长时,分解重构叠层中的氮化镓晶种层可以为后续氮化镓的生长提供晶种,而重构分解层内部的孔洞不仅有利于后续生长的氮化镓的自剥离,还可以减少后续生长的氮化镓晶格间的应力,可以提高氮化镓的生长质量。
Public/Granted literature
- CN107275188B 半导体结构、自支撑氮化镓层及其制备方法 Public/Granted day:2019-08-13
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IPC分类: