Invention Grant
- Patent Title: 气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法
-
Application No.: CN201680011950.1Application Date: 2016-02-12
-
Publication No.: CN107407329BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 铃木祐辉 , 谷川贞夫
- Applicant: 株式会社日本制钢所
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 株式会社日本制钢所
- Current Assignee: JSW阿克迪纳系统有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 胡曼
- Priority: 2015-039050 2015.02.27 JP
- International Application: PCT/JP2016/054088 2016.02.12
- International Announcement: WO2016/136495 JA 2016.09.01
- Date entered country: 2017-08-24
- Main IPC: F16C32/06
- IPC: F16C32/06 ; B65G49/06 ; H01L21/677 ; H01L21/683

Abstract:
具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A),所述气体下方喷出部(2A)设置于,对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(100),使所述气体从所述板状工件(100)的上方向下方喷出从而施加压力的位置,在对板状工件进行上浮支承之际,能进行上浮量均匀并且高平面度地支承。
Public/Granted literature
- CN107407329A 气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法 Public/Granted day:2017-11-28
Information query