• Patent Title: 用于通过功率供应波导中的光圈的微波旋转和阻抗偏移的通用圆柱形空腔系统
  • Patent Title (English): Generalized cylindrical cavity system for microwave rotation and impedance shifting by irises in a power-supplying waveguide
  • Application No.: CN201680019383.4
    Application Date: 2016-10-19
  • Publication No.: CN107430978A
    Publication Date: 2017-12-01
  • Inventor: 小林悟菅井英夫T·特兰S·朴D·卢博米尔斯基
  • Applicant: 应用材料公司
  • Applicant Address: 美国加利福尼亚州
  • Assignee: 应用材料公司
  • Current Assignee: 应用材料公司
  • Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
  • Agency: 上海专利商标事务所有限公司
  • Agent 李炜; 侯颖媖
  • Priority: 62/247,955 2015.10.29 US
  • International Application: PCT/US2016/057726 2016.10.19
  • International Announcement: WO2017/074764 EN 2017.05.04
  • Date entered country: 2017-09-28
  • Main IPC: H01J37/32
  • IPC: H01J37/32
用于通过功率供应波导中的光圈的微波旋转和阻抗偏移的通用圆柱形空腔系统
Abstract:
针对空腔的任何谐振模式TEmnl或TMmnl建立旋转微波,其中用户自由地选择模式索引m、n和l的值。旋转频率等于操作微波频率的快速旋转通过将两个微波输入端口P与Q之间的时域相位差 和方位角Δθ设定成m、n和l的函数来完成。频率Ωα(典型地1~1000Hz)的慢速旋转通过将正交输入系中的双场输入αcosΩαt和+αsinΩαt变换成由两个微波端口P与Q之间的角度Δθ界定的斜角系来建立。
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