Invention Publication
- Patent Title: 一种传输腔室的压力控制方法及控制系统
- Patent Title (English): Pressure control method and pressure control system for transmission cavity
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Application No.: CN201610382045.9Application Date: 2016-06-01
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Publication No.: CN107452587APublication Date: 2017-12-08
- Inventor: 陈庆
- Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Applicant Address: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 彭瑞欣; 张天舒
- Main IPC: H01J37/32
- IPC: H01J37/32

Abstract:
本发明公开了一种传输腔室的压力控制方法及控制系统,方法包括以下步骤:获取传输腔室内的当前压力值;对比传输腔室内的当前压力值与目标压力值;通过传输腔室压力值与进气阀的进气量和抽气阀的抽气量之间的对应关系,同时控制进气阀的进气量和抽气阀的抽气量,使得传输腔室内的当前压力值达到目标压力值。本发明的传输腔室的压力控制方法及控制系统,可以确保传输腔室在工艺过程及晶圆传送过程中压力几乎保持恒定,避免因压力波动带来参与气体及反应副产物倒流至传输腔室,从而更好的保护传输腔室避免腐蚀及其它侵害,且本发明的方法及系统可以使得传输腔室在最短的时间内使得传输腔室内的当前压力值达到目标压力值,并使用最少的气体消耗。
Public/Granted literature
- CN107452587B 一种传输腔室的压力控制方法及控制系统 Public/Granted day:2019-10-11
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