Invention Publication
- Patent Title: 射频自动阻抗匹配器及半导体设备
- Patent Title (English): Radio-frequency automatic impedance matcher and semiconductor equipment
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Application No.: CN201610371504.3Application Date: 2016-05-30
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Publication No.: CN107454731APublication Date: 2017-12-08
- Inventor: 刘建生
- Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Applicant Address: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- Agency: 北京思创毕升专利事务所
- Agent 孙向民
- Main IPC: H05H1/46
- IPC: H05H1/46 ; C23C14/34

Abstract:
公开了一种射频自动阻抗匹配器及半导体设备。所述射频自动阻抗匹配器可包括:射频传感单元,其采集射频传输线上的电压信号和电流信号,并将运算和转换后的多个数字信号输出到控制单元;控制单元,其连接到所述射频传感单元,接收所述射频传感单元的多个数字信号,确定射频传输线的状态并对匹配单元进行调整;以及匹配单元,其连接到所述控制单元,基于所述控制单元的信号调整所述射频自动阻抗匹配器的输入端阻抗。所述射频传感单元可以输出四个不同的数字信号到所述控制单元。
Public/Granted literature
- CN107454731B 射频自动阻抗匹配器及半导体设备 Public/Granted day:2019-10-11
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IPC分类: