一种磁性隧道结顶电极连接孔的形成方法
Abstract:
本发明提供了一种磁性隧道结顶电极连接孔的形成方法,步骤如下:S1.提供包括底电极、第一电介质层、MTJ结构单元,钽顶电极的衬底;步骤S2.采用氮化硅填充衬底剩余部分;S3.磨平氮化硅直到钽顶电极;S4.沉积氧化硅膜层、顶电极连接孔刻蚀阻挡层和第二电介质层;S5.图形化转移顶电极连接孔图案到第二电介质层;S6.刻蚀所述第二电介质层,并去掉在图形化转移过程中残留的有机物,使图案转移到所述刻蚀阻挡层;S7.对刻蚀阻挡层进行刻蚀;S8.刻蚀氧化硅层;S9.去掉残留的有机物;S10.在顶电极连接孔内壁形成扩散阻止层;S11.采用铜填充顶电极连接孔,并采用化学机械抛光的方法磨平填充物。
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