Invention Grant
- Patent Title: 由至少两个接合的结构层形成的MEMS器件及其制造工艺
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Application No.: CN201611259550.0Application Date: 2016-12-30
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Publication No.: CN107539941BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: G·阿勒加托 , L·奥吉欧尼 , M·加拉瓦利亚 , R·索玛彻尼
- Applicant: 意法半导体股份有限公司
- Applicant Address: 意大利阿格拉布里安扎
- Assignee: 意法半导体股份有限公司
- Current Assignee: 意法半导体国际公司
- Current Assignee Address: 瑞士日内瓦
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 王茂华; 吕世磊
- Priority: 102016000066164 2016.06.27 IT
- Main IPC: B81B3/00
- IPC: B81B3/00 ; B81C1/00

Abstract:
本公开的实施例涉及一种微机电器件,其具有半导体材料的第一衬底和半导体材料的第二衬底,第二衬底具有由与其一体的凸出部分界定的接合凹部。接合凹部与第一衬底形成封闭腔室。接合结构布置在封闭腔室内并且接合到第一和第二衬底。在第一和第二衬底之间选择的衬底中形成微机电结构。该器件通过以下步骤形成:在第一晶片中形成接合凹部;在所述接合凹部中沉积接合质量体,所述接合质量体具有比所述接合凹部更大的深度;以及接合两个晶片。
Public/Granted literature
- CN107539941A 由至少两个接合的结构层形成的MEMS器件及其制造工艺 Public/Granted day:2018-01-05
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