Invention Grant
- Patent Title: 膜厚监控仪与蒸镀机
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Application No.: CN201710598206.2Application Date: 2017-07-20
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Publication No.: CN107565062BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 金贤权
- Applicant: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Agency: 深圳市德力知识产权代理事务所
- Agent 林才桂; 闻盼盼
- Main IPC: H01L51/56
- IPC: H01L51/56 ; H01L21/67 ; C23C14/24 ; C23C14/12

Abstract:
本发明提供一种膜厚监控仪与蒸镀机。本发明的膜厚监控仪包括:壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器、设于所述壳体上的窗口、及安装于所述窗口上的风扇,所述转盘转动时带动所述数个膜厚监测传感器依次经过所述窗口。通过在壳体的窗口上安装风扇,蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少,降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚,从而延长膜厚监测传感器的使用寿命,进而减少打开蒸镀机的腔体的次数,提高蒸镀机的稼动率及产能。本发明的蒸镀机通过安装上述膜厚监控仪减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数,提高了蒸镀机的稼动率及产能。
Public/Granted literature
- CN107565062A 膜厚监控仪与蒸镀机 Public/Granted day:2018-01-09
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IPC分类: