用于半导体芯片的拾取和转移及结合的方法和系统
Abstract:
多种实施方式提供了半导体芯片的拾取和转移的系统。该系统包括:旋转臂;两个拾取头,附接在旋转臂的各端部;以及相机系统,用于检查在垂直瞄准线配置中的芯片拾取位置;其中旋转臂的旋转轴线从瞄准线偏移。多种实施方式还提供了相应方法。
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