Invention Publication
- Patent Title: 用于半导体芯片的拾取和转移及结合的方法和系统
- Patent Title (English): Method and systems for semiconductor chip pick & transfer and bonding
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Application No.: CN201710984196.6Application Date: 2012-05-31
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Publication No.: CN107768285APublication Date: 2018-03-06
- Inventor: 阿穆兰·赛恩
- Applicant: 豪锐恩科技私人有限公司
- Applicant Address: 新加坡新加坡市
- Assignee: 豪锐恩科技私人有限公司
- Current Assignee: 豪锐恩科技私人有限公司
- Current Assignee Address: 新加坡新加坡市
- Agency: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
- Agent 王达佐; 王艳春
- Priority: 61/492,824 2011.06.03 US
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; H01L21/687 ; H01L21/60

Abstract:
多种实施方式提供了半导体芯片的拾取和转移的系统。该系统包括:旋转臂;两个拾取头,附接在旋转臂的各端部;以及相机系统,用于检查在垂直瞄准线配置中的芯片拾取位置;其中旋转臂的旋转轴线从瞄准线偏移。多种实施方式还提供了相应方法。
Public/Granted literature
- CN107768285B 用于半导体芯片的拾取和转移及结合的方法和系统 Public/Granted day:2021-06-22
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