Invention Publication
- Patent Title: 一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法
- Patent Title (English): Centering method of spiral scanning type surface topography measuring system
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Application No.: CN201711063479.3Application Date: 2017-11-02
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Publication No.: CN107860341APublication Date: 2018-03-30
- Inventor: 崔玉国 , 阮超 , 项四通 , 梁丹 , 马剑强 , 刘康 , 卢志诚
- Applicant: 宁波大学
- Applicant Address: 浙江省宁波市江北区风华路818号
- Assignee: 宁波大学
- Current Assignee: 宁波大学
- Current Assignee Address: 浙江省宁波市江北区风华路818号
- Agency: 北京君恒知识产权代理事务所
- Agent 蔡菡华
- Main IPC: G01B11/27
- IPC: G01B11/27 ; G01B7/31 ; G01B11/24 ; G01B5/20

Abstract:
本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法,特点是在Z向旋转平台上固定对中试件,对中试件的下表面为水平面、上表面为倾斜面,然后控制Z向旋转平台转动一周,测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh,再控制X向直线平台沿X向移动微小距离Δx',然后控制Z向旋转平台转动一周,测头测得其探针相对于对中试件上表面的运动轨迹的高度差为Δh';将所测得的两次高度差Δh、Δh'代入关系式,得到测头探针的扫描起点与Z向旋转平台的旋转中心之间的X向对中误差Δx和Y向对中误差Δy;优点是对中操作简单,对中速度快,且对中精度和分辨率高。
Public/Granted literature
- CN107860341B 一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法 Public/Granted day:2019-10-11
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