非制冷型红外光探测器及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种非制冷型红外光探测器的制备方法,其特征在于,包括提供一衬底;在所述衬底上制作形成第一电极层;在所述第一电极层上制作形成吸收层;在所述吸收层上制作形成缓冲层;在所述缓冲层上制作形成透明电极层;在所述透明电极层上制作形成第二电极层,所述吸收层的材料为ⅠB-ⅡB-ⅣA-ⅥA掺杂P型材料,所述缓冲层的材料为N型半导体材料。本发明实施例公开了一种非制冷型红外光探测器的制备方法,其工艺简单,所需的设备较简单,可大面积生产,制作成本低,可实现民用化,另外采用ⅠB-ⅡB-ⅣA-ⅥA掺杂P型材料来制作吸收层,可扩展红外吸收的波长。
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