Invention Publication
- Patent Title: 非制冷型红外光探测器及其制备方法
- Patent Title (English): Non-refrigerating type infrared light detector and preparation method thereof
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Application No.: CN201711195401.7Application Date: 2017-11-24
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Publication No.: CN107968135APublication Date: 2018-04-27
- Inventor: 单成伟 , 冯叶 , 杨春雷
- Applicant: 深圳先进技术研究院
- Applicant Address: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- Assignee: 深圳先进技术研究院
- Current Assignee: 深圳先进技术研究院
- Current Assignee Address: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- Agency: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- Agent 孙伟峰
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L31/101

Abstract:
本发明公开了一种非制冷型红外光探测器的制备方法,其特征在于,包括提供一衬底;在所述衬底上制作形成第一电极层;在所述第一电极层上制作形成吸收层;在所述吸收层上制作形成缓冲层;在所述缓冲层上制作形成透明电极层;在所述透明电极层上制作形成第二电极层,所述吸收层的材料为ⅠB-ⅡB-ⅣA-ⅥA掺杂P型材料,所述缓冲层的材料为N型半导体材料。本发明实施例公开了一种非制冷型红外光探测器的制备方法,其工艺简单,所需的设备较简单,可大面积生产,制作成本低,可实现民用化,另外采用ⅠB-ⅡB-ⅣA-ⅥA掺杂P型材料来制作吸收层,可扩展红外吸收的波长。
Public/Granted literature
- CN107968135B 非制冷型红外光探测器及其制备方法 Public/Granted day:2019-10-11
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IPC分类: