Invention Grant
- Patent Title: 一种微波传输装置和半导体处理设备
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Application No.: CN201611013118.3Application Date: 2016-11-15
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Publication No.: CN108074789BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 刘春明
- Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Applicant Address: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 彭瑞欣; 罗瑞芝
- Main IPC: H01J37/32
- IPC: H01J37/32 ; H01L21/67

Abstract:
本发明提供一种微波传输装置和半导体处理设备。本发明的微波传输装置,包括波导和设置在波导内的阻抗匹配结构,波导用于将微波源发出的微波传输至负载,阻抗匹配结构包括微带交指电容,并且通过调节微带交指电容形成的等效电容,和/或,通过调节微带交指电容在波导中的位置,使沿微波传输方向上,阻抗匹配结构输入端之前的阻抗与阻抗匹配结构输入端之后的阻抗相匹配。本发明的半导体处理设备,包括微波源、微波传输装置和负载,微波传输装置采用本发明的微波传输装置。本发明微波传输装置能通过调节微带交指电容形成的等效电容进行微调,和/或通过调节微带交指电容在波导中的位置进行大幅度调整,从而使调节范围增大。
Public/Granted literature
- CN108074789A 一种微波传输装置和半导体处理设备 Public/Granted day:2018-05-25
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