非磁性材料分散型Fe-Pt系溅射靶
Abstract:
本发明提供一种能够降低用于使Fe‑Pt磁性相有序化的热处理温度的溅射靶,该溅射靶可避免在溅射时产生微粒。该溅射靶是含有Fe、Pt以及Ge的非磁性材料分散型的溅射靶,具有Fe、Pt以及Ge以原子数比计满足(Fe1‑αPtα)1‑βGeβ(α、β是满足0.35≤α≤0.55、0.05≤β≤0.2的数)表示的组成的磁性相,在研磨相对于溅射靶的溅射面垂直的断面后的研磨面的EPMA元素分布图中,该磁性相的Ge的浓度为30质量%以上的Ge基合金相的面积比率(SGe30质量%)的平均值,与根据溅射靶的全体组成计算的Ge的面积比率(SGe)之比(SGe30质量%/SGe)为0.5以下。
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