检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法
Abstract:
本发明提供了一种检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法,包括以下步骤:在利用激光干涉仪对光学系统检测Zernike系数之前,利用激光干涉仪对光学系统的单位长度的Zernike系数的变化系数ki(λm)进行检测,得到了公式:
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