Invention Publication
- Patent Title: 检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法
- Patent Title (English): Method for detecting transmitted wavefront at out-of-focus position of any-wavelength optical system
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Application No.: CN201810003808.3Application Date: 2018-01-03
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Publication No.: CN108225743APublication Date: 2018-06-29
- Inventor: 张齐元 , 韩森 , 王全召 , 李雪园
- Applicant: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
- Assignee: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Current Assignee: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
- Agency: 上海德昭知识产权代理有限公司
- Agent 郁旦蓉
- Main IPC: G01M11/02
- IPC: G01M11/02

Abstract:
本发明提供了一种检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法,包括以下步骤:在利用激光干涉仪对光学系统检测Zernike系数之前,利用激光干涉仪对光学系统的单位长度的Zernike系数的变化系数ki(λm)进行检测,得到了公式:
Public/Granted literature
- CN108225743B 检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法 Public/Granted day:2019-10-11
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