检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法
Abstract:
本发明提供了一种检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法,包括以下步骤:在利用激光干涉仪对光学系统检测Zernike系数之前,利用激光干涉仪对光学系统的单位长度的Zernike系数的变化系数ki(λm)进行检测,得到了公式:然后在利用激光干涉仪对光学系统进行Zernike系数的测定,得到光学系统在聚焦位置时的Zernike系数,进而得到公式:将得到的上述两个公式带入到公式中:Zi(λm,d)=Zi(λm)+ki(λm)×Δd由于Δd可以测定,因此即可得到任意波长光学系统离焦位置的Zernike系数,进而拟合得到任意波长光学系统离焦位置的透射波前。利用上述方法计算得到的任意波长光学系统离焦位置的透射波前,大大地降低了由于实际工作位置偏离聚焦位置而导致的误差。
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