Invention Grant
- Patent Title: 检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法
-
Application No.: CN201810003808.3Application Date: 2018-01-03
-
Publication No.: CN108225743BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 张齐元 , 韩森 , 王全召 , 李雪园
- Applicant: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
- Assignee: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Current Assignee: 苏州维纳仪器有限责任公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
- Agency: 上海德昭知识产权代理有限公司
- Agent 郁旦蓉
- Main IPC: G01M11/02
- IPC: G01M11/02

Abstract:
本发明提供了一种检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法,包括以下步骤:在利用激光干涉仪对光学系统检测Zernike系数之前,利用激光干涉仪对光学系统的单位长度的Zernike系数的变化系数ki(λm)进行检测,得到了公式:然后在利用激光干涉仪对光学系统进行Zernike系数的测定,得到光学系统在聚焦位置时的Zernike系数,进而得到公式:将得到的上述两个公式带入到公式中:Zi(λm,d)=Zi(λm)+ki(λm)×Δd由于Δd可以测定,因此即可得到任意波长光学系统离焦位置的Zernike系数,进而拟合得到任意波长光学系统离焦位置的透射波前。利用上述方法计算得到的任意波长光学系统离焦位置的透射波前,大大地降低了由于实际工作位置偏离聚焦位置而导致的误差。
Public/Granted literature
- CN108225743A 检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法 Public/Granted day:2018-06-29
Information query