一种新型同质结PIN紫外探测器
Abstract:
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,具体涉及一种新型同质结PIN紫外探测器,包括衬底、缓冲层、N型欧姆接触层、吸收层、P型梯度掺杂层、N型欧姆接触电极、P型欧姆接触电极;所述缓冲层设置在衬底上;N型欧姆接触层设置在缓冲层上;吸收层和N型欧姆接触电极均设置在N型欧姆接触层上,所述N型欧姆接触电极为环形,且吸收层位于N型欧姆接触电极的环内;P型梯度掺杂层设置在吸收层上;P型欧姆接触电极设置在P型梯度掺杂层上,所述探测器的工作模式为光线从前端入射。本发明的优点在于:通过P型梯度掺杂层来调节电场分布,从而提高P型梯度掺杂层光生载流子的收集效率,进而提高探测器的光谱响应率。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0