具有二维电子气沟道势垒层局部凹槽结构的霍尔传感器及其制作方法
Abstract:
一种具有二维电子气沟道势垒层局部凹槽结构的霍尔传感器及其制作方法,属于半导体传感器领域。在半导体衬底上依次生长缓冲层、外延层和势垒层,势垒层表面设有3个主电极C0、C1和C2,主电极C1和C2关于主电极C0中心对称,主电极C0和C1之间、C0和C2之间设置有凹槽结构,两边凹槽结构关于主电极C0中心对称,并且凹槽结构的宽度小于C0和C1或者C0和C2之间电极间距,主电极C0和C1之间的凹槽结构上设置有感测电极S1,主电极C0和C2之间的凹槽结构上设置有感测电极S2。本发明通过选区浅刻蚀形成凹槽,保留凹槽下方完好的异质结界面,能利用二维电子气的高迁移率优势,又能保证在弱磁场信号下运动中的载流子能发生有效偏移,从而提高器件探测敏感度。
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