一种垂直结构LED器件的制造方法
Abstract:
一种垂直结构LED器件的制造方法,包括:步骤一、在外延基底上生长出LED器件的半导体发光层;步骤二、在半导体发光层的外侧形成具有软磁性的软磁金属层,至少所述软磁金属层与半导体发光层构成LED器件;步骤三、在外延基底的背面照射紫外激光使得半导体发光层的底部发生分解,同时在LED器件的外侧放置磁铁,利用磁铁与软磁金属层之间的磁吸力,将LED器件从外延基底上吸附出来,得到垂直结构的LED器件。这种垂直结构LED器件的制造方法,其LED器件在剥离时不需采用紫外降粘胶纸,因而不存在紫外降粘胶的污染问题。
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