Invention Grant
CN109029291B 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法
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Application No.: CN201810933104.6Application Date: 2018-08-16
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Publication No.: CN109029291BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 郝群 , 胡摇 , 赵维谦 , 陶鑫 , 李腾飞
- Applicant: 北京理工大学
- Applicant Address: 北京市海淀区中关村南大街5号
- Assignee: 北京理工大学
- Current Assignee: 北京理工大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区中关村南大街5号
- Agency: 北京理工正阳知识产权代理事务所
- Agent 王民盛
- Main IPC: G01B11/24
- IPC: G01B11/24 ; G01B11/00

Abstract:
本发明公开的结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法,属于非球面测量领域。本发明实现方法为,获取被测非球面名义参数,利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与消球差透镜组;根据部分补偿透镜和消球差透镜组建立结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统;利用所述系统获得最佳补偿位置变化;测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化四次分量的系数;根据联立的方程组,计算非球面的面型参数误差,即实现对非球面的面型参数误差的测量。本发明能够提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量,具有无需扫描装置、结构简单的优点。
Public/Granted literature
- CN109029291A 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法 Public/Granted day:2018-12-18
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