一种全背电极电池及其高效陷光和选择性掺杂制造方法
Abstract:
本发明属于太阳电池制造技术领域,具体涉及一种全背电极电池的高效陷光和选择性掺杂制造方法。利用微纳结构结合原子层沉积技术制备超薄氧化硅钝化膜,降低前表面的光反射和钝化膜寄生光吸收,同时保证前表面的钝化。针对背面金属区域复合大的问题,采用选择性掺杂,在磷掺杂层上利用皮秒激光保证在n+层表层进行重掺杂,严格控制重掺杂层的深度,既保证了磷掺杂层与金属接触区形成良好的欧姆接触,又不会产生由于重掺杂带来的严重的载流子复合。利用超薄氧化硅钝化,在后续的氢气气氛下的低温退火处理进一步对晶硅进行体钝化。利用热蒸发方法制备Al金属电极,激光辐照下,Al透过氧化硅与p+和n++形成良好的欧姆接触。
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