Invention Publication
- Patent Title: 一种全背电极电池及其高效陷光和选择性掺杂制造方法
- Patent Title (English): A full back electrode battery and an efficient trapping and selective doping manufacturing method thereof
-
Application No.: CN201810806095.4Application Date: 2018-07-20
-
Publication No.: CN109192809APublication Date: 2019-01-11
- Inventor: 丁建宁 , 袁宁一 , 高纪凡 , 张学玲
- Applicant: 常州大学 , 江苏大学
- Applicant Address: 江苏省常州市武进区滆湖路1号
- Assignee: 常州大学,江苏大学
- Current Assignee: 常州大学,江苏大学天合光能股份有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省常州市武进区滆湖路1号
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L31/068 ; H01L31/0236 ; H01L31/0216

Abstract:
本发明属于太阳电池制造技术领域,具体涉及一种全背电极电池的高效陷光和选择性掺杂制造方法。利用微纳结构结合原子层沉积技术制备超薄氧化硅钝化膜,降低前表面的光反射和钝化膜寄生光吸收,同时保证前表面的钝化。针对背面金属区域复合大的问题,采用选择性掺杂,在磷掺杂层上利用皮秒激光保证在n+层表层进行重掺杂,严格控制重掺杂层的深度,既保证了磷掺杂层与金属接触区形成良好的欧姆接触,又不会产生由于重掺杂带来的严重的载流子复合。利用超薄氧化硅钝化,在后续的氢气气氛下的低温退火处理进一步对晶硅进行体钝化。利用热蒸发方法制备Al金属电极,激光辐照下,Al透过氧化硅与p+和n++形成良好的欧姆接触。
Public/Granted literature
- CN109192809B 一种全背电极电池及其高效陷光和选择性掺杂制造方法 Public/Granted day:2019-10-11
Information query
IPC分类: