一种侧壁具有纳米棱镜结构的氮化镓基发光二极管芯片及其制备方法
Abstract:
本发明公提供了一种侧壁具有纳米棱镜结构的氮化镓基发光二极管芯片及其制备方法,包括外延片衬底和制备在外延片衬底上的多层结构,所述多层结构由下层至上层依次为氮化镓缓冲层、n型氮化镓层、多量子阱有源区、p型氮化镓铝层、p型氮化镓层。本发明通过对氮化镓基发光二极管芯片形状进行设计,使氮化镓基发光二极管芯片的侧壁全部为m面或侧壁面的大部分为m面和弧面。采用四甲基氢氧化铵溶液对所述外延层进行蚀刻,在氮化镓基发光二极管芯片的氮化镓缓冲层和n型氮化镓层侧壁的m面和弧面上形成纳米棱镜结构,产生表面粗化效果,提高氮化镓基发光二极管芯片的光提取效率。
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