一种具有In和Al掺杂,In渐变生长的低温P型GaN外延方法
Abstract:
本发明提供了一种具有In和Al掺杂,In渐变生长的低温P型GaN外延方法,属于光电子技术领域。本发明的制备方法生长掺杂Al和In,In渐变掺入的低温氮化镓层,In的掺入,可提高Mg的掺杂浓度,降低Mg的活化能,从而提高有效空穴的注入,另外因为In原子较大,In的突然掺入晶格失配较大,In的渐变掺入使得该层与最后一个垒层之间的的晶格失配得以缓冲,有利于保护整个LED的结晶质量;Al的掺入,可以稍稍抬高导带能阶,有效阻挡电子从多量子阱发光层向低温p型GaN层中迁移,从而减少了从多量子阱发光层进入低温p型GaN层中电子和低温p型GaN层中空穴之间发生的非辐射复合。
Patent Agency Ranking
0/0