Invention Publication
- Patent Title: 一种具有In和Al掺杂,In渐变生长的低温P型GaN外延方法
- Patent Title (English): Epitaxial method of low-temperature P-type GaN with In and Al doping and gradient growth of In
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Application No.: CN201811022399.8Application Date: 2018-09-03
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Publication No.: CN109360877APublication Date: 2019-02-19
- Inventor: 刘丽军 , 任亮亮 , 曾海军 , 祝光辉 , 李刚
- Applicant: 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省淮安市景秀路6号
- Assignee: 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
- Current Assignee: 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省淮安市景秀路6号
- Agency: 大连理工大学专利中心
- Agent 温福雪
- Main IPC: H01L33/12
- IPC: H01L33/12 ; H01L33/06 ; H01L33/14 ; H01L33/32 ; H01L33/00

Abstract:
本发明提供了一种具有In和Al掺杂,In渐变生长的低温P型GaN外延方法,属于光电子技术领域。本发明的制备方法生长掺杂Al和In,In渐变掺入的低温氮化镓层,In的掺入,可提高Mg的掺杂浓度,降低Mg的活化能,从而提高有效空穴的注入,另外因为In原子较大,In的突然掺入晶格失配较大,In的渐变掺入使得该层与最后一个垒层之间的的晶格失配得以缓冲,有利于保护整个LED的结晶质量;Al的掺入,可以稍稍抬高导带能阶,有效阻挡电子从多量子阱发光层向低温p型GaN层中迁移,从而减少了从多量子阱发光层进入低温p型GaN层中电子和低温p型GaN层中空穴之间发生的非辐射复合。
Public/Granted literature
- CN109360877B 一种具有In和Al掺杂,In渐变生长的低温P型GaN外延方法 Public/Granted day:2019-10-11
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