一种通过紫外激光快速制备图案化掺杂石墨烯的方法
Abstract:
本发明涉及石墨烯加工领域,特别是一种通过紫外激光快速制备图案化掺杂石墨烯的方法,其包括如下步骤:a.配置碳源溶液;b.制作碳源衬板;c.将所述碳源衬板固定装夹至激光加工系统的运动平台,并保证所述碳源衬板与空气完全隔绝;d.利用紫外激光对所述碳源衬板进行加工;e.取出样品,干燥,得到石墨烯。利用紫外激光对处于掺杂源液体保护下的有机碳层聚酰亚胺涂层进行加工,通过高能量密度的紫外激光打断聚酰亚胺碳链的化学键,并把原子掺杂进重构生成的石墨烯里,生成图案化掺杂石墨烯。该方法生成的掺杂石墨烯存在能量带隙,制备石墨烯和石墨烯掺杂都在同一操作完成,生产效率高、成本低,在微电子器件制造方面具有广泛的应用潜力。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0