薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板
Abstract:
本发明提供一种薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板。薄膜晶体管的制备方法包括以下步骤:在栅极层上形成β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层;在所述β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层上形成铟镓锌氧化物半导体层;在所述铟镓锌氧化物半导体层上形成源极和漏极;在所述源极和漏极上形成绝缘保护层。本发明能够提高器件的可靠性。
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