Invention Publication
- Patent Title: 薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板
- Patent Title (English): Fabrication method of thin film transistor, array substrate and liquid crystal display panel
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Application No.: CN201811344322.2Application Date: 2018-11-13
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Publication No.: CN109616419APublication Date: 2019-04-12
- Inventor: 王帅毅
- Applicant: 成都中电熊猫显示科技有限公司
- Applicant Address: 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
- Assignee: 成都中电熊猫显示科技有限公司
- Current Assignee: 成都中电熊猫显示科技有限公司
- Current Assignee Address: 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
- Agency: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- Agent 黄溪; 刘芳
- Main IPC: H01L21/445
- IPC: H01L21/445 ; H01L21/34 ; H01L29/423 ; H01L29/49 ; H01L29/51 ; H01L29/786 ; G02F1/1362

Abstract:
本发明提供一种薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板。薄膜晶体管的制备方法包括以下步骤:在栅极层上形成β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层;在所述β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层上形成铟镓锌氧化物半导体层;在所述铟镓锌氧化物半导体层上形成源极和漏极;在所述源极和漏极上形成绝缘保护层。本发明能够提高器件的可靠性。
Public/Granted literature
- CN109616419B 薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板 Public/Granted day:2019-10-11
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