Invention Grant
- Patent Title: 一种用于磷酸机台温度控制的管路设备
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Application No.: CN201811607210.1Application Date: 2018-12-27
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Publication No.: CN109698148BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 冯宇培 , 侯宗武 , 刘厥扬
- Applicant: 上海华力集成电路制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 戴广志
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; F17D1/08 ; F17D3/01

Abstract:
本发明提供一种用于磷酸机台温度控制的管路设备,直供槽的第一进液口与第一缓冲槽的出液口连接;直供槽的出液口与其第二进液口连接构成主循环回路,该回路中连接有数个作业腔;作业腔连接有第一、第二开关阀;第一开关阀连接一排放口;第二开关阀与回收槽的进液口连接;第二缓冲槽;回收槽出液口与第二缓冲槽进液口连接;第二缓冲槽出液口连接于第一缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路;第二缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。本发明通过在第二缓冲槽与直供槽之间的管路上增加冷却装置,降低磷酸进直供槽的初始温度,减少缓冲槽与直供槽之间的温度差,有效的控制了直供槽中磷酸的温度,报警概率降低。
Public/Granted literature
- CN109698148A 一种用于磷酸机台温度控制的管路设备 Public/Granted day:2019-04-30
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IPC分类: